羅茨真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。其結(jié)構(gòu)形式是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來的，它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。于 1944 年首先出現(xiàn)于德國，是為適應(yīng)在 10 ～ 1000Pa 壓力范圍內(nèi)具有大抽速的真空熔煉系統(tǒng)而作為機(jī)械增壓泵使用。

根據(jù)羅茨真空泵工作壓力范圍的不同，分為直排大氣的低真空羅茨真空泵；中真空羅茨真空泵 ( 機(jī)械增壓泵 ) 和高真空多級羅茨真空泵。國內(nèi)用量最多的為中真空羅茨真空泵 ( 以下簡稱羅茨真空泵 ) 。

羅茨真空泵是泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有細(xì)小間隙而互不接觸。轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速，同時(shí)可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。

羅茨真空泵的特點(diǎn)是：啟動快，耗功少，運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低，抽速大、效率高，在100-1帕壓力范圍內(nèi)有較大抽氣速率，能迅速排除突然放出的氣體，轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450~4100轉(zhuǎn)/分；抽氣速率為30~10000升/秒。這個(gè)壓力范圍恰好處于油封式機(jī)械真空泵與擴(kuò)散泵之間。因此，它常被串聯(lián)在擴(kuò)散泵與油封式機(jī)械真空泵之間，用來提高中間壓力范圍的抽氣量，即我們常說的機(jī)械增壓泵。

羅茨真空泵不可以單獨(dú)抽氣，前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣。也就是說，在實(shí)際應(yīng)用中，羅茨真空泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。很多客戶使用被串聯(lián)的羅茨真空泵在前級泵剛啟動抽大氣時(shí)設(shè)置不啟動羅茨，此時(shí)啟用羅茨效用不明顯，沒有突顯羅茨真空泵的優(yōu)勢。故一般電控上設(shè)置羅茨真空泵在大氣壓下不啟動，當(dāng)前級泵抽氣到一定限度的真空時(shí)，羅茨自動啟動。羅茨真空泵作為助力泵的優(yōu)勢會凸顯出來，抽速上給予前級泵有力的支持。

羅茨真空泵作為前級泵的助力泵，選型時(shí)應(yīng)遵循羅茨抽速比前級泵抽速至少快一倍但不超過10倍的范圍選擇。抽速比前級泵同級或更小，羅茨泵就顯得“沒有力量”，沒有真正派上用場；抽速比前級泵快10倍或以上，泵的負(fù)載相對增加，對泵的磨損大，沒能實(shí)現(xiàn)羅茨節(jié)能的效果，也是不可取的。使用羅茨真空泵盡量控制羅茨泵的流量和揚(yáng)程在標(biāo)牌上注明的范圍內(nèi)，以保證羅茨泵在最高效率點(diǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)，獲得最大的節(jié)能效果。