無油爪式真空獲得技術因其清潔抽空，節(jié)能環(huán)保等特點逐漸在各個領域得到了應用。本文就無油爪式真空泵特點及在太陽能行業(yè)多晶硅鑄錠爐生產(chǎn)工藝中替代濕式真空泵的推廣意義。

大路通無油爪式真空泵在泵腔內具有若干組相互嚙合的爪型轉子。轉子與轉子之間及轉子與泵腔之間并不接觸，留有微小的間隙，不用任何潤滑劑，從而保證了清潔的真空環(huán)境。泵的結構采用多級轉子串連的形式，每組轉子分別位于不同泵腔做同步反方向運動。泵腔被爪型轉子分隔為吸氣腔和排氣腔兩部分。隨著轉子連續(xù)運轉，進行循環(huán)的吸氣排氣過程，實現(xiàn)了泵連續(xù)抽氣的目的。

無油爪式真空泵的特點：

1.泵腔內不含油類等任何介質、清潔抽空，對環(huán)境無污染；

2.真空度高、可達3Pa；

3.結構簡單、易于操作和維護、運行成本低；

4.能在較高壓力下長期連續(xù)工作、噪聲小；

5.能抽除腐蝕性氣體、有毒氣體、易燃易爆氣體、放射性氣體、含有塵埃 的氣體和可凝性氣體（例如水蒸氣、有機氣體等）；

6.能做氣體傳輸泵使用，壓縮比良好，可達10-105；

7.轉子對懸浮在泵腔內，轉子與泵腔間不接觸，無摩擦，使用壽命長。

8.爪式泵具有免拆泵清洗功能，在使用過程中如有大量液體，粉塵或粘稠等異物后，可以在不拆泵的情況下，半小時能對泵內部全部清洗并恢復到出廠水平，工作狀態(tài)穩(wěn)定。

在多晶硅太陽能電池行業(yè)的應用

多晶硅鑄錠爐要求爐內的極限壓力必須抽到1Pa以下，目前國內很多廠家配備的是油式泵，但油式泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。油式泵入口壓力范圍：100Pa—100000 Pa，超出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。與無油爪式真空泵不同，油式泵對環(huán)境溫度也有要求，真空泵一般在不低于5℃的室溫及不高于90%的相對溫度的環(huán)境內使用。常溫無其它混合物的清潔干燥空氣，不許有含其它粉塵及水分的空氣。由于多晶硅生產(chǎn)廠都是將幾十臺甚至于上百臺爐子集中在一個封閉的空調廠房內，所以對真空機組的振動和噪聲要求極為限嚴格，而且要求真空機組在連續(xù)60小時下運行無故障，從長遠使用的耗費成本上看，油式泵需要定期保養(yǎng)耗費大量人力與物力成本，而不需維持的無油爪式真空泵，無疑就成了制程上選。

大路通公司配置的無油爪式真空泵機組是液力傳動羅茨泵加上無油爪式真空泵，機組的極限壓力可達1ｘ10-2Pa。此無油爪式真空泵組體積小、重量輕、噪聲低、無振動、可靠性好，所以現(xiàn)在太陽能行業(yè)多晶硅鑄錠爐工中無油爪式真空使用技術中替代濕式真空泵是國際發(fā)展趨勢，未來將是干泵世紀。應用濕式真空泵高能耗，高排污費用增加了企業(yè)成本，降低了企業(yè)競爭力。運用無油爪式真空泵替代油泵，不但符合國家政策方向，而且節(jié)能環(huán)保，更能為企業(yè)帶來顯著的經(jīng)濟效益，在太陽能行業(yè)中具有普遍的推廣價值和意義。